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微孔过滤器由微加工柔性膜芯片和封装夹具组成,膜芯片的厚度为11μm±1μm,微孔尺寸有0.45um、0.6um、2um、4um、6um、8um、10um、15um、25um、50um等。
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微孔过滤器由微加工柔性膜芯片和封装夹具组成,膜芯片的厚度为11μm±1μm,微孔尺寸有0.45um、0.6um、2um、4um、6um、8um、10um、15um、25um、50um等。